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無塵室產生的氮氧化物

保護環境與健康一向是高科技產業關心的課題。所有企業在面對有必要的情況下都會盡可能持續改進其生產流程。舉例而言氮氧化物，在現代廢棄物處理技術的支持下，科技業最近已經停止將有害物質排放到大氣。戴思DAS Environmental Expert的環境專家正研發各種解決方案來致力降低工廠未來排放氣體所含的氮氧化物。一般用作為保護氣體的氮氧化物，在正常條件下具有極高的惰性，不過在溫度升高時則會形成熱力型氮氧化物(thermal NOx)。如圖1所示，這方面主要會影響負責處理蝕刻工藝產生的全氟化合物的焚化廠。反應爐中分解全氟化合物所需的高溫，會因替代效應促使生成氮氧化物。此外，半導體產業需要用到氮來分離氮化物層氮氧化物，如化學氣相沉積工藝中通常會運用一氧化氮來生成氮氧化層。三氟化氮(NF3) 不只用于微電子制造，還會用在薄膜屏幕與薄膜太陽能電池制作工藝中以清洗化學氣相沉積的反應室氯氣報警器，此外還有生產晶態硅太陽能電池中所用到的阿摩尼亞(NH3)。這些殘留的氮化合物若沒有進行化學反應，就會借由其他工藝氣體的熱量進行分解氮氧化物油漆檢測儀，從而成為排放廢氣中氮氧化物的來源，而這也構成了燃料氮氧化物(fuel NOx)生成機制的基礎。

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